离子束清洗

离子束清洗

应用离子束清洗技术的目标:

-    用能量为一千五百电子伏特的被加速的离子束从分子微粒、吸附气体、聚合物碎片、水蒸汽清洗基板表面;

-    薄膜镀层沉积之前,活化基板表面键合的原子。

离子束清洗技术的应用与传统方法相比(辉光放电、等离子清洗等等)可保证更高的附着力,结果带涂层的零件操作变得长期、可靠。

IZOVAC公司已开发出了离子束各种形状的IBSS系列的来源。用这些来源可对任何物品(包括大型的)进行离子束清洗。

IZOVAC公司已开发出了离子束各种形状的IBSS系列的来源。用这些来源可对任何物品(包括大型的)进行离子束清洗。

技术优势:                                                                              

-     均匀性很高;

-     可以以不同的角度加工任何基板(金属、半导体、聚合物);

-     清洗精度很高。

应用该技术的真空设备