Elato

Elato真空机用于光学涂层与各种基材上的离子束辅助电子束蒸发。

技术特色

参数

1. 真空室的直径, mm

350

2. 最高的剩余压力在真空室(没有设备),  不过, 帕

1 х10-4

3. 时间达到压力8х10-4 Па(不加热)在真空室(设备里)开幕门以后, 不过, 分钟。

15

4. 空气流入真空室(10小时), 不过, 公升帕/秒

1 х 102

5.压力区域在真空室为填充气体, 帕

1 х 10-2 - 4 х 10-2

6.真空室的有效容積的加温温度区域 在配件оС

0-750

7. EBE能力, 不过, 千瓦 , 到

10

8.离子辅助源能力, 不过, 千瓦

1

9.立式铸管机的转速调节, 每分钟的转数

0-30

10. 涂层厚度不均匀,不过, %

+/-2

11. 质量, 不过,千克,

1800

12. 耗电量, 不过,千瓦,

35

 

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