IzoLine Aurora-D

特点:

  • 镀膜机的一端(转移站、装卸站)在无尖室里面。
  • 沉积功率:16个磁控式溅镀系统x 12 千瓦。
  • 不锈钢真空腔体。
  • 模块化设计。
  • 涡轮分子泵。
  • 单面或双面沉积。
  • 玻璃基板是在台车固定的。
  • 传动系统不产生污染粒子。
  • 基板加载、卸载在无尖室里面的装卸站举行.
  • 预先加热基板。
  • 软件使用方法简单。
产品咨询