IzoLine Aurora-D
设备用途:
新的第5代立式线性镀膜机“IzoLine AURORA-D保证生产率高的玻璃基板沉积。“IzoLine AURORA-D专为双面电介质保护度膜设计。
特点:
- 镀膜机的一端(转移站、装卸站)在无尖室里面。
- 沉积功率:16个磁控式溅镀系统x 12 千瓦。
- 不锈钢真空腔体。
- 模块化设计。
- 涡轮分子泵。
- 单面或双面沉积。
- 玻璃基板是在台车固定的。
- 传动系统不产生污染粒子。
- 基板加载、卸载在无尖室里面的装卸站举行.
- 预先加热基板。
- 软件使用方法简单。
设备用途:
新的第5代立式线性镀膜机“IzoLine AURORA-D保证生产率高的玻璃基板沉积。“IzoLine AURORA-D专为双面电介质保护度膜设计。
特点: