IzoLine Aurora-D

特点：

• 镀膜机的一端(转移站、装卸站)在无尖室里面。
• 沉积功率：16个磁控式溅镀系统x 12 千瓦。
• 不锈钢真空腔体。
• 模块化设计。
• 涡轮分子泵。
• 单面或双面沉积。
• 玻璃基板是在台车固定的。
• 传动系统不产生污染粒子。
• 基板加载、卸载在无尖室里面的装卸站举行.
• 预先加热基板。
• 软件使用方法简单。

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