Plasma Scan 500

基本应用领域:

-  为平板显示器生产薄膜;

-  激光溅镀;

- 功能性薄膜;

-  生产介质过滤器、镜子;

- 研究;

独特优势:

- 容易、快速进行的技术过程;

- 全自动化的技术工艺;

- 离子清洗和溅镀过程是在一个周期安排的;

- 装载、卸载基板的时间很小;

-单层、多层薄膜的高均匀性(± 0,8%);

- 光学和石英控制;       

- 沉积在热敏的基板上;

- 在一个溅镀周期中,用离子束技术或者磁控技术溅镀多达四个不同靶材材料的可能性;

- 存档装置工作所有的参数;

沉积薄膜例子:

ITO, SiOX, Cr, Al, Al2O3, Nb2O5, Ta2O5, TiO2, CuO2, MgO, SiXNY等等.

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