SE-200

用途:

沉积基于氮化硅的密封薄膜镀层;

沉积性能被提高的透明导电镀膜.

 

应用:

Oled显示器.

 

特点:

有四个位置换靶材节点的离子束溅射源提供进行研究、制造各种各样的薄膜镀层巨大的机会.

应用IZOVAC公司的离子束技术来把薄膜镀层沉积在有机材料(其特性不退化)是一个的确不错的选择, 是我们客户会证明的事实.

沉积时, 差不多无摩擦副的位移离子源特别的机制保证粒子生成的水平很低.

该装置很适合OLED研究、生产线.

基板的大小: 200x200毫米, и 370x470毫米.

可以按照客户的要求安装基板的加热.

该装置设计符合Class 1000洁净室的要求.

产品咨询