SE-300

用途:

沉积基于氮化硅的密封薄膜镀层;

沉积性能提高的透明导电镀膜.

 

应用:

Oled显示器.

 

特点:

有四个靶材位置的离子束溅射源提供进行研究及制造各种各样的薄膜镀层巨大的机会。

用IZOVAC公司离子束技术将薄膜沉积在有机材料是一个的确不错的选择, 是我们客户会证明的事实。

 

沉积时, 差不多无摩擦副的离子源移动机制特殊设计保证粒子生成的很低水平。

该装置很适合OLED研究、生产线。

基板尺寸为200x200毫米, 370x470毫米。

可以根据客户要求安装基板加热.

该装置设计符合Class 1000洁净室的要求.

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