Velox

 

设备特性:

设备有长方形的腔体、,两扇垂直的门。一扇门是开着的: 可以装上(或者卸下)架子、元件。 沉积过程时另外一扇门是关着的.

架子装到真空轴上, 一直在旋转.

两个DC电磁管装到腔体右边。电磁管用途是保证快速的、高质量的溅镀。可以沉积各种各样的金属(包括铝、铬、不锈钢、铜、锡、铜).

为了沉积之前清洗基板,可将离子束源装到腔体左边。

设备周期时间:50-100秒钟(取决于产品材料和环境)。

设备优势:

- 占地面积小,易于使用,灵活性

- 快速沉积

- 设备易于同步传送机

-底漆、金属化和最终沉积这三个操作之间没有延迟, 因此灰尘、蒸气、指纹等污染的情况不会发生。

-应用客户标准的架子.

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